一台光刻机的寿命取决于许多因素，例如机器的型号、制造工艺、使用环境、保养情况等。
一般来说，一台光刻机的使用寿命可以达到5~10年。然而，实际使用寿命可能因具体情况而异。例如，使用193nm深紫外光刻机也可以做到10nm乃至7nm芯片的生产，但工艺难度和成本较高，因为需要采用自对准四次成型技术来得到更加致密的结构。此外，芯片层级的工艺变得更加复杂，需要更多掩模版和材料，因此用193nm光刻机生产7nm芯片非常不划算。
光刻机实际使用寿命受多方面因素影响。从机器自身来看，型号不同其设计寿命和性能就有差异，先进型号可能在技术和耐用性上更优。制造工艺也很关键，精良的制造工艺能让光刻机内部组件更稳定、耐用。使用环境对其寿命影响显著，若处于温度、湿度不适宜，或者有灰尘、振动等不良环境中，会加速机器零部件的磨损和老化。保养情况是重要因素，定期的专业保养、清洁、校准和更换易损件等，能及时发现并解决潜在问题，延长光刻机的使用寿命。相反，缺乏保养则会使机器故障频发，大幅缩短使用寿命。
